|
|
| The Capacitance Sensors Application for Sapphire Wafer Flatness Measurement |
|
|
| Авторы |
| | Skidanov V.A. |
| Год публикации |
| | 2006 |
| Тип работы |
| | текст доклада на конференции |
|
| Ссылка на статью |
| | Skidanov V.A. The Capacitance Sensors Application for Sapphire Wafer Flatness Measurement. Digest of the XX Conference "Eurosensors-2006" Proceedings / Gothenborg, Sweden, 17-20 Sept. 2006 – p.p. 394-395 |
|
|
Сайт ИППМ
Сайт ИнфоМЭС
Обратная связь
|
Copyright © 2012-2025 ИППМ РАН. All Rights Reserved. Обновлённая и существенно переработанная версия системы от 2016 года. |
Разработка сайта - ИППМ РАН
|