|
The Capacitance Sensors Application for Sapphire Wafer Flatness Measurement |
|
|
Авторы |
| Skidanov V.A. |
Год публикации |
| 2006 |
Тип работы |
| текст доклада на конференции |
|
Ссылка на статью |
| Skidanov V.A. The Capacitance Sensors Application for Sapphire Wafer Flatness Measurement. Digest of the XX Conference "Eurosensors-2006" Proceedings / Gothenborg, Sweden, 17-20 Sept. 2006 – p.p. 394-395 |
|
|
Сайт ИППМ
Сайт ИнфоМЭС
Обратная связь
|
Copyright © 2012-2024 ИППМ РАН. All Rights Reserved. Обновлённая и существенно переработанная версия системы от 2016 года. |
Разработка сайта - ИППМ РАН
|