|
Контроль точности макромоделей при характеризации библиотечных элементов с проектными нормами в нанометровом диапазоне |
|
|
Авторы |
| Гудкова О.Н. |
| Скачкова Е.П. |
Год публикации |
| 2010 |
Тип работы |
| текст доклада на конференции |
|
Ссылка на статью |
| Гудкова О.Н., Скачкова Е.П. Контроль точности макромоделей при характеризации библиотечных элементов с проектными нормами в нанометровом диапазоне. 2-ая окружная научно-техническая конференция молодых ученых и специалистов. М.: ЦРП ЗелАО. Зеленоград, 2010. С. 11. |
|
|
Сайт ИППМ
Сайт ИнфоМЭС
Обратная связь
|
Copyright © 2012-2024 ИППМ РАН. All Rights Reserved. Обновлённая и существенно переработанная версия системы от 2016 года. |
Разработка сайта - ИППМ РАН
|