Анализ с помощью системы TCAD токов утечки 45 нм МОП транзисторной структуры с high-k диэлектриком |
|
|
Authors |
| Петросянц К.О. |
| Попов Д.А. |
| Самбурский Л.М. |
Date of publication |
| 2015 |
Type of work |
| статья в научном журнале |
|
Library reference |
| Петросянц К.О., Попов Д.А., Самбурский Л.М. Анализ с помощью системы TCAD токов утечки 45 нм МОП транзисторной структуры с high-k диэлектриком. Известия ВУЗов. Электроника. 2015. № 1. С. 38-43. |
|
|