Home  Catalogue of authors Catalogue of works Full search Add papers Login

Разработка методов проектирования компактной топологии регулярных структур FinFET транзисторов на основе технологии режущих слоев
Authors
 Гаврилов С.В.
 Карева Е.С.
 Рыжова Д.И.
Date of publication
 2017
Type of work
 статья в научном журнале
Library reference
 Гаврилов С.В., Карева Е.С., Рыжова Д.И. Разработка методов проектирования компактной топологии регулярных структур FinFET транзисторов на основе технологии режущих слоев. Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника. 2017. № 3 (167). С. 13-21.
To IPPM site    To InfoMES site    Feedback
Copyright © 2012-2024 IPPM RAS. All Rights Reserved.
Updated and substantially revised version of system of 2016.
Design of site: IPPM RAS