|
|
| Разработка методов проектирования компактной топологии регулярных структур FinFET транзисторов на основе технологии режущих слоев |
|
|
| Авторы |
| | Гаврилов С.В. |
| | Карева Е.С. |
| | Рыжова Д.И. |
| Год публикации |
| | 2017 |
| Тип работы |
| | статья в научном журнале |
|
| Ссылка на статью |
| | Гаврилов С.В., Карева Е.С., Рыжова Д.И. Разработка методов проектирования компактной топологии регулярных структур FinFET транзисторов на основе технологии режущих слоев. Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника. 2017. № 3 (167). С. 13-21. |
|
|
Сайт ИППМ
Сайт ИнфоМЭС
Обратная связь
|
Copyright © 2012-2025 ИППМ РАН. All Rights Reserved. Обновлённая и существенно переработанная версия системы от 2016 года. |
Разработка сайта - ИППМ РАН
|