|
Разработка методов проектирования компактной топологии регулярных структур FinFET транзисторов на основе технологии режущих слоев |
|
|
Авторы |
| Гаврилов С.В. |
| Карева Е.С. |
| Рыжова Д.И. |
Год публикации |
| 2017 |
Тип работы |
| статья в научном журнале |
|
Ссылка на статью |
| Гаврилов С.В., Карева Е.С., Рыжова Д.И. Разработка методов проектирования компактной топологии регулярных структур FinFET транзисторов на основе технологии режущих слоев. Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника. 2017. № 3 (167). С. 13-21. |
|
|
Сайт ИППМ
Сайт ИнфоМЭС
Обратная связь
|
Copyright © 2012-2024 ИППМ РАН. All Rights Reserved. Обновлённая и существенно переработанная версия системы от 2016 года. |
Разработка сайта - ИППМ РАН
|